Advanced Energyの新しいパワーメータがRF パワーアプリケーションの精度とパフォーマンスを改善

1台の機器にまとめた新RFパワーメータが簡便なモニタリングと高精度制御を可能に

東京，日本 - Media OutReach - 2021年12月15日 - Advanced Energy (Nasdaq: AEIS) ― 高度なエンジニアリングの高精度電力変換、計測、制御ソリューションのグローバルリーダーである同社は本日、GEMINI™ 5540A RF（高周波） パワーメータを発表しました。この新しいパワーメータは半導体、通信、産業用及び医療用市場の高精度な RFパワー制御が必要なアプリケーションを対象に、フレキシブルで簡便な一体型ユニットで高精度のインライン RFパワー測定を実現したものです。Advanced Energyは半導体業界のRFパワーソリューションのリーダーとして、プラズマ制御と先進的エッチング/成膜プロセスを改善する新しい可能性に取組んでいます。

検出器とメータ機能を使いやすく一体化したGEMINI 5540Aの測定範囲は、周波数 0.2～200 MHz とパワー範囲3～5,000 Wで 標準偏差は±0.5% + 0.5 Wの2σです。この統合された機器で、ユーザーはRFパワーの高精度な測定と制御を要するアプリケーションにおいて、複数機器を1台のメータに置き換えることが可能になります。

「高アスペクト比 (HAR) のプラズマエッチング等の要件の厳しい半導体プロセスでは、RFシステムの精密制御とチャンバーとチャンバーのマッチングがプロセスのパフォーマンスに直接影響します」と Advanced Energy のクリティカルセンシング&コントロール担当バイスプレジデントのGerry Blumenstockは述べています。 .「この新しいGEMINI 5540Aで、OEM各社はシステムを正確に校正し、リアルタイムでRFパワーをモニターすることができ、プラズマベースの最先端プロセスのフィディリティと一貫性が改善可能になります」。

GEMINI 5540Aは大型で読み易いOLEDデジタル表示を内蔵し、進行波と反射波、電圧定在波比 (VSWR) と周波数を同時に表示します。自動的に周波数を検出し、進行波と反射波電力測定に再設定は不要です。メータの校正周期は従来の6か月に比べ、12か月に延びています。標準USB 2.0ポートを介した 5 V、500 mA入力で動作し、外部バッテリまたは AC電源コンセントと市販の USBアダプターのどちらも使用可能です。

直接測定が可能なことに加えて、このメータをPC接続してAdvanced EnergyのGEMINIツールデータ可視化ソフトウェアを使えば、データの収集、保存、監査も可能です。

詳細な製品情報と技術仕様は次をご覧ください：www.tegam.com/shop/rf-microwave/power-meters/no-product/gemini-5540a-rf-power-meter

Advanced Energyについて

Advanced Energy (Nasdaq: AEIS) は、ミッションクリティカルなアプリケーションとプロセスを対象に、先進のエンジニアリングによる高精度電源変換、計測および制御ソリューションを設計・製造するグローバルリーダーです。AEの電源ソリューションは、複雑な半導体及び産業用アプリケーションにおけるカスタマーの革新を可能にし、その対象は半導体装置、製造、通信、データセンターコンピューティング、ヘルスケアなどの多様な業界です。エンジニアリング・ノウハウと世界中での迅速なサービス及びサポートを備える当社は、テクノロジーの進歩、顧客の成長推進、未来の電力の革新に対応すべく、数々の協働的パートナーシップを確立しています。Advanced Energyは30年以上にわたり、グローバルな顧客のために完璧な電源対応で貢献しており、本社は米国のコロラド州フォートコリンズにあります。詳細はwww.advancedenergy.comをご覧下さい。

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